華海清科成功交付首臺12英寸封裝減薄貼膜一體機
來源：中國能源新聞網 時間：2024-06-17 14:42
中國能源新聞網訊（李鑫）6月12日，四川能投華海清科股份有限公司（以下簡稱“華海清科”）首臺12英寸封裝減薄貼膜一體機Versatile–GM300出機發往國內頭部封測企業，此產品是繼成功推出量產機型減薄拋光一體機（Versatile–GP300）之后，華海清科再次在先進封裝領域推出的關鍵核心產品Versatile–GM300，為公司業務多元化增長注入新動能。
封裝減薄貼膜一體化設備Versatile–GM300，全機采用新型布局，可靈活實現薄型晶圓背面超精密研削與干式拋光應力去除功能，搭配晶圓貼膜機聯機使用，可為8/12英寸晶圓安全可靠地提供從精密減薄、清洗干燥到粘貼料環、背膜剝離的全流程自動作業，滿足高端封裝領域的薄型晶圓生產工藝技術需求。
Versatile–GM300超精密晶圓減薄機，在技術上突破了超薄片減薄工藝技術壁壘，依托先進的厚度均勻性控制技術，可實現片內均勻性TTV<1.0μm，達到了國內領先和國際先進水平。此外，該產品具有高精度、高剛性、工藝開發高靈活性等優點，可廣泛應用于封裝領域中的晶圓背面減薄、BG/DC倒膜等工藝。本次12英寸封裝減薄貼膜一體機Versatile–GM300的交付將顯著增強華海清科在封裝設備市場的競爭力，并鞏固其行業領導地位。
責任編輯：楊娜
